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透明襯底技術(shù)InGaAlP
發(fā)布者:admin 添加時間:2020/5/4 瀏覽次數(shù):2784
LED通常是在GaAs襯底上外延生長InGaAlP發(fā)光區(qū)GaP窗口區(qū)制備而成。與InGaAlP相比,GaAs材料具有小得多的禁帶寬度,因此,當(dāng)短波長的光從發(fā)光區(qū)與窗口表面射入GaAs襯底時,將被悉數(shù)吸收,成為器件出光效率不高的主要原因。在襯底與限制層之間生長一個布喇格反射區(qū),能將垂直射向襯底的光反射回發(fā)光區(qū)或窗口,部分改善了器件的出光特性。一個更為有效的方法是先去除GaAs襯底,代之于全透明的GaP晶體。由于芯片內(nèi)除去了襯底吸收區(qū),使量子效率從4%提升到了25-30%。為進一步減小電極區(qū)的吸收,有人將這種透明襯底型的InGaAlP器件制作成截角倒錐體的外形,使量子效率有了更大的提高。